氣動(dòng)高真空擋板閥設(shè)計(jì)規(guī)范的工作原理是閥板通過閥桿做上下運(yùn)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)密封的。驅(qū)使閥桿運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)部件有手動(dòng)、手電兩動(dòng)、氣動(dòng)三種方式。手動(dòng)傳動(dòng)部件，以螺紋結(jié)構(gòu)為主，也可以采用平凸輪結(jié)構(gòu)。圖1和圖2分別為直角式、直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)示意圖。手動(dòng)兩用的傳動(dòng)部件，由電動(dòng)機(jī)、蝸輪、蝸桿組成，并裝有行程開關(guān)。計(jì)算出了選擇擋板閥氣缸缸筒直徑和活塞桿直徑的選擇及計(jì)算確定方法,為高真空擋板閥氣缸及活塞桿直徑的選取提供了參考。氣動(dòng)超高真空擋板閥,通過使用者操作電磁閥控制空氣進(jìn)入氣缸,空氣進(jìn)入氣缸從而帶動(dòng)氣缸運(yùn)動(dòng),氣缸運(yùn)動(dòng)從而帶動(dòng)通過彈性圓柱銷帶動(dòng)閥板部件運(yùn)動(dòng),閥板部件運(yùn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)閥板部件對(duì)閥體部件內(nèi)氣體的通斷,通過閥體部件運(yùn)動(dòng)來控制閥體部件內(nèi)氣體的通斷,從而增加了閥體部件的密閉性,增強(qiáng)了擋板閥工作的穩(wěn)定性,保證了擋板閥的使用壽命,降低了擋板閥的更換次數(shù).超高真空擋板閥用于接通或切斷超高真空系統(tǒng)管路中的氣流，有氣動(dòng)、手動(dòng)兩種驅(qū)動(dòng)方式。氣動(dòng)閥是通過電磁換向閥改變氣流方向來控制氣缸運(yùn)動(dòng)，達(dá)到閥門啟閉；手動(dòng)閥是以人工轉(zhuǎn)動(dòng)手柄為動(dòng)力通過螺紋傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)閥門開閉。適用于介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體的場合。高真空擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。高真空擋板閥按軸封結(jié)構(gòu)可分GD-J型橡膠軸封和GD-J(b)型波紋管軸封兩種。按通導(dǎo)形式可分GD-J為角通型式，GD-S為帶預(yù)抽口的三通型式。

主要零件材料閥體、閥蓋、閥桿：鋁合金、碳鋼或不銹鋼
密封件：橡膠、氟橡膠、波紋管(軸封)。

氣動(dòng)高真空擋板閥設(shè)計(jì)規(guī)范適用范圍：
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）

 主要技術(shù)指標(biāo)： 

適用范圍：1×105 Pa ～ 1.3×10-7 Pa;

漏率：≤1.3×10-10  Pa.m3/s; 

工作介質(zhì)：空氣、水蒸氣、非腐蝕性氣體；

烘烤溫度：

— 打開：≤200℃；

— 關(guān)閉：≤150℃；

壓縮空氣：0.4 ～0.7MPa；

電源：AC220V 50Hz，6W 或者 DC24V，3W(可選)； 

安裝位置：任意。  

閥門位置指示：

手動(dòng)：帶有行程控制銷釘；氣動(dòng)：帶有啟閉位置指示磁性開關(guān)。

氣動(dòng)高真空擋板閥設(shè)計(jì)規(guī)范

當(dāng)接通電源后，電動(dòng)機(jī)按某一方向(如開啟方向)旋轉(zhuǎn)，通過蝸輪、蝸桿帶動(dòng)閥桿向上運(yùn)動(dòng)使閥板上升，當(dāng)閥上升到一定高度時(shí)，行程開關(guān)自動(dòng)切斷電源，閥桿運(yùn)動(dòng)立即停止，反之亦然。手動(dòng)時(shí)，松開手輪背帽，用手按一定方向轉(zhuǎn)動(dòng)手輪即可，圖3為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。

氣動(dòng)傳動(dòng)部件以壓縮干燥空氣為動(dòng)力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動(dòng)汽缸活塞上下運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)閥桿上下運(yùn)動(dòng)，使閥板開啟關(guān)閉，從而達(dá)到接通或停止氣流的目的。

真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍：軸封為橡膠時(shí)為1.3×10-4～105Pa；軸封為波紋管結(jié)構(gòu)時(shí)為1.3×10-5～105Pa。工作介質(zhì)溫度：-25～80℃（密封件為橡膠）；-30～150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料：碳鋼鍍鎳或不銹鋼；閥板密封材料橡膠或氟橡膠。

超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3～105Pa。閥門開啟狀態(tài)，烘烤溫度小于400℃；閥體材料為不銹鋼；閥板材料為無氧銅；軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂y門無腐蝕的干凈氣體。不適合用在對(duì)金屬有強(qiáng)腐蝕性和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下使用。

高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點(diǎn)，形式多樣，規(guī)格齊全，公稱尺寸DN150～1200，結(jié)構(gòu)合理等，因此，被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中，如用于真空鍍膜設(shè)備，真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)備等。